48531 Формирование контактов металл-полупроводник с металлизацией на основе Al и Cu для GaAs СВЧ транзисторов с высокой подвижностью электронов : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.04 Ерофеев, Евгений Викторович 2012, Томск

Физика. Диссертация Формирование контактов металл-полупроводник с металлизацией на основе Al и Cu для GaAs СВЧ транзисторов с высокой подвижностью электронов : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.04, Томск, 2012