725725 Физические принципы осаждения из газовой фазы аморфных, нанокристаллических и микрокристаллических пленок алмазоподобного углерода и карбида кремния : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.07 / Тарала Виталий Алексеевич; [Место защиты: ГОУВПО "Кабардино-Балкарский государственный университет"] Тарала, Виталий Алексеевич 2014, Нальчик

Физика. Диссертация Физические принципы осаждения из газовой фазы аморфных, нанокристаллических и микрокристаллических пленок алмазоподобного углерода и карбида кремния : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.07 / Тарала Виталий Алексеевич; [Место защиты: ГОУВПО "Кабардино-Балкарский государственный университет"], Нальчик, 2014