Физика. Диссертация Физические процессы при ионно-лучевом синтезе структур на основе кремния : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.10 / Тысченко Ида Евгеньевна; [Место защиты: Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук], Новосибирск, 2015