732740 Структура нераспыляющего магнетронного разряда : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.08 / Казиев Андрей Викторович; [Место защиты: Нац. исслед. ядерный ун-т] Казиев, Андрей Викторович 2014, Москва

Физика. Диссертация Структура нераспыляющего магнетронного разряда : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.08 / Казиев Андрей Викторович; [Место защиты: Нац. исслед. ядерный ун-т], Москва, 2014