735900 Особенности структуры тонких пленок SiC, формируемых методом импульсного лазерного осаждения на подложках Si и Al2O3 : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07 / Рындя Сергей Михайлович; [Место защиты: Науч.-исслед. физ.-хим. ин-т им. Л.Я. Карпова] Рындя, Сергей Михайлович 2014, Москва

Физика. Диссертация Особенности структуры тонких пленок SiC, формируемых методом импульсного лазерного осаждения на подложках Si и Al2O3 : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07 / Рындя Сергей Михайлович; [Место защиты: Науч.-исслед. физ.-хим. ин-т им. Л.Я. Карпова], Москва, 2014