736907 Развитие методики эллипсометрического контроля параметров наноструктур Fe/Si в процессе роста : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.01 / Тарасов Иван Анатольевич; [Место защиты: Ин-т физики им. Л.В. Киренского СО РАН] Тарасов, Иван Анатольевич 2014, Красноярск

Физика. Диссертация Развитие методики эллипсометрического контроля параметров наноструктур Fe/Si в процессе роста : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.01 / Тарасов Иван Анатольевич; [Место защиты: Ин-т физики им. Л.В. Киренского СО РАН], Красноярск, 2014