Физика. Диссертация Многослойные абсорбционные фильтры для астрономии и проекционной литографии экстремального ультрафиолетового диапазона : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.01 / Цыбин Николай Николаевич; [Место защиты: Ин-т физики микроструктур РАН], Нижний Новгород, 2015