Физика. Диссертация Синтез кремнийсодержащих структур методом газоструйного химического осаждения с активацией электронно-пучковой плазмой : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.14 / Замчий Александр Олегович; [Место защиты: Ин-т теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН], Новосибирск, 2015