40845 Аномальный тлеющий разряд в процессах нанесения функциональных покрытий : диссертация ... кандидата технических наук : 01.02.05 Галяутдинов, Артур Рафаэлевич 2010, Казань

Механика. Диссертация Аномальный тлеющий разряд в процессах нанесения функциональных покрытий : диссертация ... кандидата технических наук : 01.02.05, Казань, 2010