397618 Обеспечение технологической надежности сверхвысоковакуумного автоматизированного оборудования посредством использования нанотрибологических характеристик : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.06, 05.02.04 Гаценко, Александр Андреевич 2003, Москва

Машиностроение и машиноведение. Диссертация Обеспечение технологической надежности сверхвысоковакуумного автоматизированного оборудования посредством использования нанотрибологических характеристик : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.06, 05.02.04, Москва, 2003