Машиностроение и машиноведение. Диссертация Разработка и исследование агрегатов для проведения процесса газофазного осаждения эпитаксиальных слоев кремния на подложки большого диаметра : диссертация ... кандидата технических наук : 05.02.13, Москва, 2003