397843 Создание экологичных и виброустойчивых механических модулей высокопроизводительного оборудования для выращивания монокристаллического кремния : диссертация ... кандидата технических наук : 05.02.13, 05.02.02 Терехин, Николай Александрович 2004, Красноярск

Машиностроение и машиноведение. Диссертация Создание экологичных и виброустойчивых механических модулей высокопроизводительного оборудования для выращивания монокристаллического кремния : диссертация ... кандидата технических наук : 05.02.13, 05.02.02, Красноярск, 2004