Машиностроение и машиноведение. Диссертация Построение систем управления и информационно-измерительных модулей высокопроизводительного оборудования для выращивания монокристаллического кремния : диссертация ... кандидата технических наук : 05.02.13, 05.13.06, Красноярск, 2004