431628
Использование распределенного ВЧ генератора для возбуждения низкотемпературной плазмы в протяженном реакторе : диссертация ... кандидата технических наук : 05.09.10 Чипурнов, Сергей Алексеевич
1999, Новосибирск
Электротехника. Диссертация Использование распределенного ВЧ генератора для возбуждения низкотемпературной плазмы в протяженном реакторе : диссертация ... кандидата технических наук : 05.09.10, Новосибирск, 1999