431628 Использование распределенного ВЧ генератора для возбуждения низкотемпературной плазмы в протяженном реакторе : диссертация ... кандидата технических наук : 05.09.10 Чипурнов, Сергей Алексеевич 1999, Новосибирск

Электротехника. Диссертация Использование распределенного ВЧ генератора для возбуждения низкотемпературной плазмы в протяженном реакторе : диссертация ... кандидата технических наук : 05.09.10, Новосибирск, 1999