Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы. Диссертация Полупроводниковые чувствительные элементы датчиков давлений на основе структуры "кремний-на-диэлектрике" : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.14, Пенза, 2005