Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы. Диссертация Разработка и исследование физико-технологических принципов создания микроэлектронных устройств на основе планарных многослойных гетероэпитаксиальных структур Si, CaF2 и CoSi2, сформированных методом молекулярно-лучевой эпитаксии : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06, 05.11.14, Москва, 2005