101095 Исследование и разработка технологии обработки подложек для приборных пластин связанным алмазно-абразивным инструментом : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.14 Котляров, Юрий Владимирович 2006, Москва

Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы. Диссертация Исследование и разработка технологии обработки подложек для приборных пластин связанным алмазно-абразивным инструментом : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.14, Москва, 2006