Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы. Диссертация Технологическое обеспечение показателей качества пластин-подложек ИМС на основе совершенствования доводочных операций : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.14, Москва, 2006