Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы. Диссертация Разработка и исследование цифрового интерференционного микроскопа для прецизионных измерений малых высот и наноперемещений : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.07, Москва, 2007