Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы. Диссертация Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.14, 05.02.08, Пенза, 2007