Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы. Диссертация Чувствительные элементы для микроэлектронных датчиков давления информационно-измерительных систем : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.14, 05.11.16, Пенза, 2007