Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы. Диссертация Эллипсометрия поверхностных слоев элементов оптоэлектроники, модифицированных ионными и электронными пучками : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.07, Санкт-Петербург, 2008