Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы. Диссертация Исследование и разработка технологического процесса изготовления субмикронных затворов гетероструктурных СВЧ транзисторов методом контактной фотолитографии : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.14, Москва, 2009