Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы. Диссертация Методы и средства интерферометрии высокого разрешения для обеспечения единства измерений геометрических параметров рельефа и шероховатости поверхности в нанометровом диапазоне : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.15, Москва, 2010