Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы. Диссертация Разработка литографических процессов изготовления СБИС с размерами элементов меньше длины волны экспонирующего излучения : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.14, Москва, 2010