102846 Синтезированные голограммы-проекторы Френеля для фотолитографии : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.07 Никаноров, Олег Викторович 2011, Санкт-Петербург

Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы. Диссертация Синтезированные голограммы-проекторы Френеля для фотолитографии : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.07, Санкт-Петербург, 2011