102882 Разработка процессов и оборудования для изменения структурного состояния тонкопленочных слоев оптических и магнитооптических носителей информации : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06, 05.11.14 Кузьминых, Александр Сергеевич 2011, Москва

Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы. Диссертация Разработка процессов и оборудования для изменения структурного состояния тонкопленочных слоев оптических и магнитооптических носителей информации : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06, 05.11.14, Москва, 2011