Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы. Диссертация Эллипсометрические и спектрофотометрические методы исследования и контроля оптических характеристик поверхностных слоев элементов оптотехники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.07, Санкт-Петербург, 2011