Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы. Диссертация Системы управления технологическими режимами магнетронного нанесения тензорезистивных пленок : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.16, 05.11.14, Пенза, 2011