Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы. Диссертация Исследование изменчивости аэрозоля под действием температуры и влажности в чистых помещениях микроэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.13, Москва, 2011