103018 Исследование изменчивости аэрозоля под действием температуры и влажности в чистых помещениях микроэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.13 Севрюкова, Елена Александровна 2011, Москва

Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы. Диссертация Исследование изменчивости аэрозоля под действием температуры и влажности в чистых помещениях микроэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.13, Москва, 2011