Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы. Диссертация Технология создания и исследование пьезорезонансных зондовых датчиков для сканирующего зондового микроскопа : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.14, Санкт-Петербург, 2012