Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы. Диссертация Теоретическое и экспериментальное исследование конденсационного роста субмикронных частиц аэрозоля в чистых объемах производства интегральных схем : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.13, Москва, 2001