Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы. Диссертация Разработка методов получения, контроля и применения плазмы с заданными характеристиками в больших вакуумных объемах : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.13, Нижний Новгород, 2002