Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы. Диссертация Развитие методов зондовой микроскопии для исследования и контроля поверхностей материалов и изделий микроэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.13, Москва, 2002