Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы. Диссертация Влияние технологических факторов на конструктивно-механические параметры чувствительных элементов интегральных акселерометров и датчиков давления : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.14, 05.27.06, Арзамас, 2002