Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы. Диссертация Система комплексного контроля параметров пленок нитрида алюминия, получаемых методом магнетронного распыления : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.13 / Мороз Андрей Викторович; [Место защиты: Казан. гос. энергет. ун-т], Йошкар-Ола, 2014