Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы. Диссертация Разработка технологии формирования кремниевых пьезорезистивных чувствительных элементов микромеханических акселерометров : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.14 / Пауткин Валерий Евгеньевич; [Место защиты: С.-Петерб. гос. ун-т аэрокосм. приборостроения], Пенза, 2014