742594 Синтез голограмм-проекторов сфокусированного изображения для фотолитографии : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.07 / Корепин Иван Николаевич; [Место защиты: С.-Петерб. нац. исслед. ун-т информац. технологий, механики и оптики] Корепин, Иван Николаевич 2015, Санкт-Петербург

Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы. Диссертация Синтез голограмм-проекторов сфокусированного изображения для фотолитографии : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.07 / Корепин Иван Николаевич; [Место защиты: С.-Петерб. нац. исслед. ун-т информац. технологий, механики и оптики], Санкт-Петербург, 2015