Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы. Диссертация Система прецизионного механического перемещения для повышения пространственного разрешения и точности измерений линейных размеров в сканирующем зондовом микроскопе : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.01 / Михайлов Михаил Алексеевич; [Место защиты: С.-Петерб. нац. исслед. ун-т информац. технологий, механики и оптики], Санкт-Петербург, 2015