Информатика, вычислительная техника и управление. Диссертация Дефектообразование и технологии создания кремниевых подложек для интегральных схем вычислительной техники : диссертация ... доктора технических наук в форме науч. докл. : 05.13.05, Санкт-Петербург, 1999