Информатика, вычислительная техника и управление. Диссертация Алгоритмы и методы автоматизированной системы моделирования технологического процесса формирования резистивных тонкопленочных слоев : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.06, 05.13.07, Москва, 1999