Информатика, вычислительная техника и управление. Диссертация Модели синтеза устройств ориентации полупроводниковых пластин в условиях воздействия встречных газовых потоков : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.16, 05.13.01, Воронеж, 2000