390260 Математическое моделирование технологических процессов : На примере автоэпитаксии кремния : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.13.18 Матюшкин, Игорь Валерьевич 2000, Долгопрудный

Информатика, вычислительная техника и управление. Диссертация Математическое моделирование технологических процессов : На примере автоэпитаксии кремния : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.13.18, Долгопрудный, 2000