Информатика, вычислительная техника и управление. Диссертация Математические модели термостабилизации полупроводниковых пластин газовой прослойкой для синтеза устройств в линиях фотолитографии : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.18, Воронеж, 2001