392883 Математическое моделирование высокочастотной плазменной обработки твердых тел при пониженном давлении : диссертация ... доктора физико-математических наук : 05.13.18 Желтухин, Виктор Семенович 2003, Казань

Информатика, вычислительная техника и управление. Диссертация Математическое моделирование высокочастотной плазменной обработки твердых тел при пониженном давлении : диссертация ... доктора физико-математических наук : 05.13.18, Казань, 2003