Информатика, вычислительная техника и управление. Диссертация Методы управления режимами диффузионных установок и контроля качества топологий в микро и наноэлектронике : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.06 / Йе Тун Тэйн; [Место защиты: Нац. исслед. ун-т МИЭТ], Москва, 2014