Информатика, вычислительная техника и управление. Диссертация Робастное управление быстрыми термическими процессами при газофазной эпитаксии : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.01 / Капитонов Александр Александрович; [Место защиты: С.-Петерб. нац. исслед. ун-т информац. технологий, механики и оптики], Санкт-Петербург, 2014