90500 Повышение точности управления температурным режимом в установках выращивания монокристаллов : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.06 Гоник, Марк Михайлович 2011, Москва

Информатика, вычислительная техника и управление. Диссертация Повышение точности управления температурным режимом в установках выращивания монокристаллов : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.06, Москва, 2011