97227 Процессы получения композиционных материалов и покрытий на основе карбида кремния химическим газофазным осаждением из метилсилана при относительно низких температурах и давлениях : диссертация ... кандидата технических наук : 05.16.06 Лахин, Антон Владиславович 2006, Москва

Металлургия. Диссертация Процессы получения композиционных материалов и покрытий на основе карбида кремния химическим газофазным осаждением из метилсилана при относительно низких температурах и давлениях : диссертация ... кандидата технических наук : 05.16.06, Москва, 2006