122770 Исследование и разработка технологии очистки хлорсиланов : диссертация ... кандидата технических наук : 05.17.01 Кох, Александр Аркадьевич 2005, Москва

Химическая технология. Диссертация Исследование и разработка технологии очистки хлорсиланов : диссертация ... кандидата технических наук : 05.17.01, Москва, 2005